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多晶硅生产过程中需要什么样的废气处理设备

文章出处:王书驰TAG标签:废气(303)过程中(5)需要什么样(1) 人气:发表时间:2020-04-05 09:00:17

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  在多晶硅的生产中,还会产生一定的废气和残液,目前我们的废气处理设备已经比较先进,对以前的处理技术进行了改进,已经达到了较高的水平。



  多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。


目前,多晶硅工艺技术空前活跃。


主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。
西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。
为了提高原料利用率,在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。
改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。


  国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。
如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。
此外,多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。
碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅,区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。


  废气和残液的处理
  在多晶硅制备中有大量的废气和废液产生,国内多数单位通常先用水洗水解,然后通过NaOH中和废气处理和残液处理工序。


  废气净化
  氯硅烷分离提纯工序各精馏塔顶排放的含氯硅烷、氮气的废气,及含氯硅烷、氢气、氮气、氯化氢的多晶硅还原炉置换吹扫气和多晶硅还原炉事故排放气等,被送进尾气洗涤塔组,用水(盐酸溶液)洗涤,废气中的氯硅烷与水发生以下反应而被除去:
  SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
  SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl
  SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2
  出尾气处理塔顶含有氮气和氢气的废气经液封罐放空,出尾气处理塔塔底含有SiO2固体的盐酸溶液用泵送入工艺废料处理工序。
【有机废气处理】


    本文主要由催化燃烧设备厂家小编了解到关于多晶硅生产过程中需要什么样的废气处理设备的最新资讯,希望可以为您提供一点帮助,如果需要更多的环保相关的方案和报价或资料,欢迎拨打电话与我们联系,咨询电话:15562665977

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